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半导体干法刻蚀技术(原子层工艺)/集成电路科学与工程丛书

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  • 包装:平装
  • 出版社:机械工业
  • ISBN:9787111734260
  • 作者:(美)索斯藤·莱尔|责编:刘星宁|译者:丁扣宝
  • 页数:226
  • 出版日期:2023-09-01
  • 印刷日期:2023-09-01
  • 开本:16开
  • 版次:1
  • 印次:1
  • 字数:341千字